전자 산업에서의 수소(H₂) 순도 등급 및 응용 분야

수소 순도 등급에 대한 국가 표준

수소 순도 등급은 국가 표준 시스템에 따라 정의됩니다. 중국에서 수소의 순도는 주로 용도에 따라 여러 등급으로 분류되며, 특히 산업용 및 가정용 수소의 경우 전자 를 사용합니다.

99.999% 고순도 수소의 표준은 무엇인가요?

다음에 대한 표준 99.999%(5N) 고순도 수소 는 불순물에 대한 엄격한 제한을 지정합니다. 질량 비율 및 함량 제어에 기반한 일반적인 요구 사항은 다음과 같습니다:

• 질소(N₂): ≤ 3ppm
• 메탄(CH₄): ≤ 1ppm
• 아세틸렌(C₂H₂): ≤ 0.5ppm
• 총 탄화수소: ≤ 1ppm
• 일산화탄소(CO): ≤ 1ppm
• 이산화탄소(CO₂): ≤ 2ppm
• 산소 함유 탄소 화합물: ≤ 1ppm
• 산소(O₂): ≤ 1ppm
• 휘발성 유기 화합물(VOC): < 0.1ppm
• 유기 오염 물질(올레핀계 화합물): ≤ 1ppb
• 다탄화수소: ≤ 10ppb
• 기타 미량 불순물(산소화 알데히드 및 질산염 포함): ≤ 10ppb
• 수분(H₂O): ≤ 20ppm

이러한 사양은 수소가 하이엔드 산업 및 전자 제품의 엄격한 요구 사항을 충족하도록 보장합니다. 제조 프로세스.

전자 산업에서의 수소 순도 등급 및 일반적인 응용 분야

전자 산업에서의 수소 순도 요구 사항 및 안전 표준

전자 산업에서 사용되는 수소는 일반적으로 매우 높은 순도 수준을 필요로 합니다. 99.999% (5N) 이상 및 많은 고급 애플리케이션에서 99.9999%(6N) 초고순도 수소 가 필요합니다. 미량의 불순물, 특히 수분도 제거해야 합니다, 산소, 일산화탄소 및 금속 이온은 제품 수율과 디바이스 성능에 심각한 저하를 초래할 수 있습니다.

따라서 관련 기술 표준은 매우 엄격한 불순물 제한을 부과합니다. 수소 취급 시에는 수소 누출 감지 시스템, 역화 방지기 설치, 폭발 위험을 최소화하기 위한 작업장 내 적절한 환기 등 안전 및 기술 규정을 엄격하게 준수해야 합니다.

첨단 산업에서 전자 등급 수소의 역할

전자 등급 수소는 첨단 기술 산업, 특히 반도체 제조 및 새로운 에너지 응용 분야에서 중요한 역할을 하는 고순도 수소의 한 형태입니다. 반도체, 광섬유, 디스플레이 패널과 같은 첨단 전자 부품의 생산 공정에 깊숙이 통합되어 있으며, 모두 매우 엄격한 가스 순도 수준을 요구합니다.

1. 반도체 제조

반도체 제조에서 수소는 주로 보호 가스, 환원 가스, 운반 가스로 사용되며, 모두 깨끗한 공정 환경을 유지하고 화학 반응을 제어하는 데 필수적입니다.

• 웨이퍼 성장 및 열 처리:
  단결정 실리콘 성장 및 에피택셜 공정에서 고순도 수소는 고온에서 실리콘 산화를 방지하기 위한 보호 분위기로 사용됩니다. 어닐링 공정에서 수소는 격자 결함을 복구하여 웨이퍼 품질과 전기적 성능을 개선하는 데 도움을 줍니다.
• 화학 기상 증착(CVD):
  CVD 공정에서 수소는 일반적으로 반응 전구체를 반응 챔버로 운반하고 고품질 박막을 형성하는 반응에 참여하는 운반 기체로 사용됩니다.
• 에칭 및 청소:
  수소는 정밀한 웨이퍼 에칭이나 웨이퍼 표면의 미량 산화물 및 오염 물질 제거를 위해 불화수소와 같은 다른 가스와 혼합하여 사용할 수 있습니다. 이러한 공정은 고집적 반도체 장치를 제조하는 데 필수적입니다.

2. 광섬유 제조

광섬유 생산, 특히 프리폼을 준비하는 과정에서 1200~1500°C 범위의 고온 가열을 위해 수소-산소 불꽃이 사용됩니다. 이러한 불꽃에는 순도가 매우 높은 수소가 필요합니다. 고체 입자나 불순물이 존재하면 프리폼 표면에 검은 반점이 생겨 광 전송 성능이 크게 저하될 수 있습니다.

3. 디스플레이 패널 제조

수소는 액정 디스플레이(LCD)와 신흥 OLED 패널 생산에도 없어서는 안 될 필수 요소입니다. 수소는 주로 초청정, 무산소, 무습 환경을 조성하는 데 사용되며 증착 및 어닐링 공정 중에 박막 트랜지스터(TFT) 어레이와 같은 중요한 구조가 오염되지 않도록 하는 보호 가스 역할을 합니다.

4. 전자 재료 준비

많은 금속 mater전자 산업에서 사용되는 이온은 수소의 강력한 환원 특성에 의존합니다. 예를 들어 텅스텐과 몰리브덴과 같은 내화성 금속을 생산할 때 고순도 수소를 사용하여 금속 산화물을 환원함으로써 입자 크기가 더 미세하고 순도가 높은 금속 분말을 생산합니다. 이러한 분말은 전자 부품 제조에 필수적인 기본 재료로 사용됩니다.

진홍가스 소개

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