Hexafluoroethane

Hexafluoroethane is a colorless, inflammable gas that is insoluble in water but soluble in ethanol. Its boiling point is -78.2°C, the melting point is -100.6°C, and its critical temperature is 19.7°C. Hexafluoroethane is generally used for plasma etching gas in the microelectronics industry, as well as device surface cleaning, optical fiber production, and low temperature refrigeration.

Process

Hexafluoroethane may be obtained as a by-product of CFC production, or by direct fluorination of ethane.
KhíHexafluoroethane
CAS No.76-16-4
Purity99.999%

Applications

Semiconductors

Hexafluoroethane is used for dry etching of silicon dioxide and for stripping photoresist.

Semiconductors

Hexafluoroethane is used as a refrigerant in certain low temperature applications and as a component in some refrigerant blends.

Frequently Asked Question

Q: What’s the specification can you supply?

Cylinder: 44L Valve: CGA660, DISS716 Content:40kg

Inquiry

Vui lòng bật JavaScript trong trình duyệt của bạn để hoàn tất biểu mẫu này.
Vui lòng nhập địa chỉ email công việc của bạn.

Related Products

Trang web này sử dụng cookie để cải thiện trải nghiệm duyệt web của bạn. Bằng cách tiếp tục sử dụng trang web này, bạn đồng ý với việc chúng tôi sử dụng cookie.

Hãy trò chuyện với các chuyên gia về gas của chúng tôi....

Vui lòng bật JavaScript trong trình duyệt của bạn để hoàn tất biểu mẫu này.
Vui lòng nhập địa chỉ email công việc của bạn.